典型光伏坩埚用高纯石英砂工艺属性对比研究
关键词:光伏;石英坩埚;高纯石英砂;化学成分;气液包裹体
摘 要:以美国矽比科公司、挪威 TQC 公司和中国江苏太平洋石英股份有限公司生产的 3 种坩埚用高纯石英砂为研究对象,通过激光粒度 分析、光学显微镜、扫描电镜、X 射线衍射等分析测试手段,对 3 种坩埚用高纯石英砂的粒度分布、微观形貌、化学成分、晶胞参数等特征进行分析。 结果表明,美国矽比科公司和挪威 TQC 公司生产的坩埚用高纯石英砂粒度集中在 200 μm 左右,形状和尺寸均匀程度均优于中国江苏太平洋石英 股份有限公司生产的石英砂;3 个样品均存在包裹体和个别元素含量略高情况,但不影响石英坩埚生产;石英砂化学元素含量会影响晶胞参数的变 化,3 个样品 a 值均偏小,中国江苏太平洋石英股份有限公司石英砂样品 c 值偏大;结合不同浸出介质石英砂微观形貌对比分析,3 个石英样品均经 过高温煅烧处理及氢氟酸酸浸处理,挪威 TQC 公司生产的坩埚用高纯石英砂中还存在硝酸酸浸的痕迹。
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