化学气相沉积法合成Si3N4纳米带的研究

作者：李思婷 李增祎 傅煜然  刘丽  谭嘉林  赵文科  谭浩博  陈洋    单位：湖南工学院 材料科学与工程学院，湖南 衡阳 421002

关键词：Si3N4纳米带；催化；化学气相沉积法；显微结构

摘  要：以Si粉、酚醛树脂和硝酸铁为原料，采用化学气相沉积法在氮气气氛下合成Si3N4纳米带。研究了热处理温度和硝酸铁添加量对合 成Si3N4纯度和形貌的影响。结果表明，在非催化作用下，热处理温度升高有利于提高Si3N4纯度；温度为1 500 ℃时，合成高纯Si3N4，其中α-Si3N4和 β-Si3N4生成量分别为91%和9%。添加催化剂显著影响Si3N4形貌，其形貌由直线形带状结构演变为蜷曲的带状结构，具有这种带状结构的Si3N4为α-Si3N4；当硝酸铁添加量为 5%时，α-Si3N4生成量较高，为95%。